Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit

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Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 2022

Volumen: 121

Número: 5

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/5.0099083 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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