MARTIN
JARAIZ MALDONADO
CATEDRATICOS DE UNIVERSIDAD
Oak Ridge National Laboratory
Oak Ridge, Estados UnidosPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Oak Ridge National Laboratory (1)
1997
-
Physical mechanisms of transient enhanced dopant diffusion in ion-implanted silicon
Journal of Applied Physics, Vol. 81, Núm. 9, pp. 6031-6050