Effect of the implantation temperature on lattice damage of Be +-implanted GaN
- Pastor, D.
- Cuscó, R.
- Artús, L.
- González-Díaz, G.
- Fernández, S.
- Calleja, E.
ISSN: 0268-1242
Any de publicació: 2005
Volum: 20
Número: 5
Pàgines: 374-377
Tipus: Article