Effect of the implantation temperature on lattice damage of Be +-implanted GaN

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Zeitschrift:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 20

Nummer: 5

Seiten: 374-377

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0268-1242/20/5/009 GOOGLE SCHOLAR
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