Study of Si+-implanted and annealed InP by means of Raman spectroscopy

  1. Cuscó, R.
  2. Ibáñez, J.
  3. Blanco, N.
  4. González-Díaz, G.
  5. Artús, L.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1997

Volumen: 132

Número: 4

Páginas: 627-632

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(97)00512-0 GOOGLE SCHOLAR
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