Scavenging effect on plasma oxidized Gd2O3 grown by high pressure sputtering on Si and InP substrates
- Pampillón, M.A.
- Feijoo, P.C.
- San Andrés, E.
- García, H.
- Castán, H.
- Dueñas, S.
ISSN: 1361-6641, 0268-1242
Año de publicación: 2015
Volumen: 30
Número: 3
Tipo: Artículo