Irradiation effect on dielectric properties of hafnium and gadolinium oxide gate dielectrics

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Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Año de publicación: 2009

Volumen: 27

Número: 1

Páginas: 416-420

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.3021040 GOOGLE SCHOLAR

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