Raman scattering and photoluminescence analysis of silicon on insulator structures obtained by single and multiple oxygen implants

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Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 1991

Volumen: 70

Número: 3

Páginas: 1678-1683

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.349536 GOOGLE SCHOLAR