Raman scattering and photoluminescence analysis of silicon on insulator structures obtained by single and multiple oxygen implants
- Pérez-Rodríguez, A.
- Cornet, A.
- Morante, J.R.
- Jiménez, J.
- Hemment, P.L.F.
- Homewood, K.P.
ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 1991
Volumen: 70
Número: 3
Páginas: 1678-1683
Tipo: Artículo