Raman characterization of SOI-SIMOX structures

  1. Martin, E.
  2. Jiménez, J.
  3. Pérez-Rodrígues, A.
  4. Morante, J.R.
Revista:
Materials Letters

ISSN: 0167-577X

Año de publicación: 1992

Volumen: 15

Número: 1-2

Páginas: 122-126

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0167-577X(92)90026-G GOOGLE SCHOLAR
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