Raman microprobe: a diagnostic tool for processed silicon. Analysis of microindented silicon

  1. Jiménez, J.
  2. Martín, E.
  3. Torres, A.
  4. Martín, B.
  5. Rull, F.
  6. Sobrón, F.
Revista:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics

ISSN: 0957-4522,  1573-482X

Any de publicació: 1993

Volum: 4

Número: 4

Pàgines: 271-277

Tipus: Article

DOI: 10.1007/BF00179223 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus