Raman microprobe: a diagnostic tool for processed silicon. Analysis of microindented silicon

  1. Jiménez, J.
  2. Martín, E.
  3. Torres, A.
  4. Martín, B.
  5. Rull, F.
  6. Sobrón, F.
Aldizkaria:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics

ISSN: 0957-4522,  1573-482X

Argitalpen urtea: 1993

Alea: 4

Zenbakia: 4

Orrialdeak: 271-277

Mota: Artikulua

DOI: 10.1007/BF00179223 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus