Computer simulation of point-defect distributions generated by ion implantation

  1. Jaraíz, M.
  2. Arias, J.
  3. Rubio, J.E.
  4. Bailón, L.A.
  5. Barbolla, J.
Zeitschrift:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1993

Ausgabe: 80-81

Nummer: PART 1

Seiten: 172-175

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0168-583X(93)96100-Q GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus