Detailed computer simulation of ion implantation processes into crystals
ISSN: 1743-2847, 0267-0836
Año de publicación: 1995
Volumen: 11
Número: 11
Páginas: 1191-1193
Tipo: Artículo
ISSN: 1743-2847, 0267-0836
Año de publicación: 1995
Volumen: 11
Número: 11
Páginas: 1191-1193
Tipo: Artículo