B diffusion and clustering in ion implanted Si: The role of B cluster precursors

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Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 1997

Volumen: 70

Número: 17

Páginas: 2285-2287

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.118839 GOOGLE SCHOLAR
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