Electrical characteristics of anodic tantalum pentoxide thin films under thermal stress

  1. Dueñas, S.
  2. Castán, H.
  3. Barbolla, J.
  4. Kola, R.R.
  5. Sullivan, P.A.
Zeitschrift:
Microelectronics Reliability

ISSN: 0026-2714

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 40

Nummer: 4-5

Seiten: 659-662

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0026-2714(99)00310-8 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus