Electrical characteristics of anodic tantalum pentoxide thin films under thermal stress

  1. Dueñas, S.
  2. Castán, H.
  3. Barbolla, J.
  4. Kola, R.R.
  5. Sullivan, P.A.
Revista:
Microelectronics Reliability

ISSN: 0026-2714

Ano de publicación: 2000

Volume: 40

Número: 4-5

Páxinas: 659-662

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/S0026-2714(99)00310-8 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus