Algorithm for statistical noise reduction in three-dimensional ion implant simulations

  1. Hernández-Mangas, J.M.
  2. Arias, J.
  3. Jaraiz, M.
  4. Bailón, L.
  5. Barbolla, J.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2001

Volumen: 174

Número: 4

Páginas: 433-438

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(00)00627-3 GOOGLE SCHOLAR
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