DLTS and conductance transient investigation on defects in anodic tantalum pentoxide thin films

  1. Dueñas, S.
  2. Castán, H.
  3. Barbolla, J.
  4. Kola, R.R.
  5. Sullivan, P.A.
Zeitschrift:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics

ISSN: 0957-4522

Datum der Publikation: 2001

Ausgabe: 12

Nummer: 4-6

Seiten: 317-321

Art: Artikel

DOI: 10.1023/A:1011292210991 GOOGLE SCHOLAR
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