Study of defects in conformal GaAs/Si layers by optical techniques and photoetching

  1. Ardila, A.M.
  2. Martínez, O.
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Revista:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Año de publicación: 2002

Volumen: 91-92

Páginas: 70-74

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/S0921-5107(01)00974-6 GOOGLE SCHOLAR
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