Doping profiles of n-type GaAs layers grown on Si by the conformal method
- Ardila, A.M.
- Martínez, O.
- Avella, M.
- Jiménez, J.
- Gérard, B.
- Napierala, J.
- Gil-Lafon, E.
Revista:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Año de publicación: 2002
Volumen: 692
Páginas: 417-422
Tipo: Artículo