Comparative study on electrical properties of atomic layer deposited high-permittivity materials on silicon substrates
- Dueñas, S.
- Castán, H.
- García, H.
- Barbolla, J.
- Kukli, K.
- Ritala, M.
- Leskelä, M.
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 2005
Volum: 474
Número: 1-2
Pàgines: 222-229
Tipus: Article