Comparative study on electrical properties of atomic layer deposited high-permittivity materials on silicon substrates
- Dueñas, S.
- Castán, H.
- García, H.
- Barbolla, J.
- Kukli, K.
- Ritala, M.
- Leskelä, M.
ISSN: 0040-6090
Datum der Publikation: 2005
Ausgabe: 474
Nummer: 1-2
Seiten: 222-229
Art: Artikel