Atomistic modeling of dopant implantation, diffusion, and activation
ISSN: 1071-1023
Any de publicació: 2006
Volum: 24
Número: 5
Pàgines: 2432-2436
Tipus: Article
ISSN: 1071-1023
Any de publicació: 2006
Volum: 24
Número: 5
Pàgines: 2432-2436
Tipus: Article