Atomistic modeling of dopant implantation, diffusion, and activation

  1. Aboy, M.
  2. Lopez, P.
  3. Marques, L.A.
  4. L Pelaz
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 24

Nummer: 5

Seiten: 2432-2436

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.2348726 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus