Atomistic modeling of dopant implantation, diffusion, and activation
ISSN: 1071-1023
Ano de publicación: 2006
Volume: 24
Número: 5
Páxinas: 2432-2436
Tipo: Artigo
ISSN: 1071-1023
Ano de publicación: 2006
Volume: 24
Número: 5
Páxinas: 2432-2436
Tipo: Artigo