Molecular dynamics study of damage generation mechanisms in silicon at the low energy regime

  1. Santos, I.
  2. Marqués, L.A.
  3. Pelaz, L.
  4. López, P.
Actas:
2007 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9781424408689

Año de publicación: 2007

Páginas: 37-40

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2007.383990 GOOGLE SCHOLAR
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