Boron electrical activation in SOI compared to bulk Si substrates

  1. Aboy, M.
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  4. Montserrat, J.
  5. Bermúdez, F.J.
Actas:
2007 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9781424408689

Año de publicación: 2007

Páginas: 29-32

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2007.383988 GOOGLE SCHOLAR
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