Predictive simulation of advanced nano-CMOS devices based on kMC process simulation

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Zeitschrift:
IEEE Transactions on Electron Devices

ISSN: 0018-9383

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 54

Nummer: 9

Seiten: 2155-2163

Art: Artikel

DOI: 10.1109/TED.2007.902698 GOOGLE SCHOLAR

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