Predictive simulation of advanced nano-CMOS devices based on kMC process simulation

  1. Mok, K.R.C.
  2. Colombeau, B.
  3. Benistant, F.
  4. Teo, R.S.
  5. Yeong, S.H.
  6. Yang, B.
  7. Jaraiz, M.
  8. Chu, S.-F.S.
Aldizkaria:
IEEE Transactions on Electron Devices

ISSN: 0018-9383

Argitalpen urtea: 2007

Alea: 54

Zenbakia: 9

Orrialdeak: 2155-2163

Mota: Artikulua

DOI: 10.1109/TED.2007.902698 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible

Datuen iturria: Scopus