Investigation of point defect generation in dry etched InP ridge waveguide structures
- Avella, M.
- Jiḿnez, J.
- Pommereau, F.
- Landesman, J.P.
- Rhallabi, A.
Revista:
Applied Physics Letters
ISSN: 0003-6951
Año de publicación: 2007
Volumen: 90
Número: 22
Tipo: Artículo