Atomistic analysis of the annealing behavior of amorphous regions in silicon

  1. López, P.
  2. Pelaz, L.
  3. Marqús, L.A.
  4. Santos, I.
Aldizkaria:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Argitalpen urtea: 2007

Alea: 101

Zenbakia: 9

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1063/1.2729468 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus