Hydrogen-free SiCN films obtained by electron cyclotron resonance plasma

  1. Hernández, M.J.
  2. Cervera, M.
  3. Piqueras, J.
  4. González, M.A.
  5. Avella, M.
  6. Del Caño, T.
  7. Jiḿnez, J.
Revista:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Any de publicació: 2007

Volum: 154

Número: 4

Tipus: Article

DOI: 10.1149/1.2472559 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus