Hydrogen-free SiCN films obtained by electron cyclotron resonance plasma

  1. Hernández, M.J.
  2. Cervera, M.
  3. Piqueras, J.
  4. González, M.A.
  5. Avella, M.
  6. Del Caño, T.
  7. Jiḿnez, J.
Revista:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Ano de publicación: 2007

Volume: 154

Número: 4

Tipo: Artigo

DOI: 10.1149/1.2472559 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus