Comprehensive model of damage accumulation in silicon
- Mok, K.R.C.
- Benistant, F.
- Jaraiz, M.
- Rubio, J.E.
- Castrillo, P.
- Pinacho, R.
- Srinivasan, M.P.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 2008
Ausgabe: 103
Nummer: 1
Art: Artikel