Angular distributions of sputtered atoms from semiconductor targets at grazing ion beam incidence angles

  1. Sekowski, M.
  2. Burenkov, A.
  3. Hernández-Mangas, J.
  4. Martinez-Limia, A.
  5. Ryssel, H.
Actas:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 1551-7616,  0094-243X

ISBN: 9780735405974

Año de publicación: 2008

Volumen: 1066

Páginas: 236-239

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1063/1.3033602 GOOGLE SCHOLAR
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