Process modeling of chemical and stress effects in SiGe
- Zographos, N.
- Zechner, C.
- Castrillo, P.
- Martin-Bragado, I.
ISSN: 0094-243X, 1551-7616
ISBN: 9780735411098
Any de publicació: 2012
Volum: 1496
Pàgines: 212-216
Tipus: Aportació congrés
Actes:
AIP Conference Proceedings
