Process modeling of chemical and stress effects in SiGe

  1. Zographos, N.
  2. Zechner, C.
  3. Castrillo, P.
  4. Martin-Bragado, I.
Actes de conférence:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 0094-243X,  1551-7616

ISBN: 9780735411098

Année de publication: 2012

Volumen: 1496

Pages: 212-216

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1063/1.4766526 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible

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