Influence of growth and annealing temperatures on the electrical properties of Nb2O5-based MIM capacitors

  1. García, H.
  2. Castán, H.
  3. Perez, E.
  4. Dueñas, S.
  5. Bailón, L.
  6. Blanquart, T.
  7. Niinistö, J.
  8. Kukli, K.
  9. Ritala, M.
  10. Leskelä, M.
Zeitschrift:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Datum der Publikation: 2013

Ausgabe: 28

Nummer: 5

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0268-1242/28/5/055005 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

Datenquelle: Scopus