Influence of growth and annealing temperatures on the electrical properties of Nb2O5-based MIM capacitors

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Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Año de publicación: 2013

Volumen: 28

Número: 5

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0268-1242/28/5/055005 GOOGLE SCHOLAR

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