Atomic layer deposition of zirconium dioxide from zirconium tetraiodide and ozone

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Zeitschrift:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Datum der Publikation: 2018

Ausgabe: 7

Nummer: 2

Seiten: P1-P8

Art: Artikel

DOI: 10.1149/2.0041802JSS GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus