Atomic layer deposition of zirconium dioxide from zirconium tetraiodide and ozone

1. Kukli, K.
2. Kemell, M.
3. Mizohata, K.
4. Vehkamäki, M.
5. Kalam, K.
6. Castán, H.
7. Duenas, S.
8. Link, J.
9. Stern, R.
10. Ritala, M.
11. Leskelä, M.