Atomic layer deposition and properties of HFO 2 -Al 2 O 3 nanolaminates

  1. Kukli, K.
  2. Kemell, M.
  3. Castán, H.
  4. Dueñas, S.
  5. Seemen, H.
  6. Rähn, M.
  7. Link, J.
  8. Stern, R.
  9. Ritala, M.
  10. Leskelä, M.
Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Any de publicació: 2018

Volum: 7

Número: 9

Pàgines: P501-P508

Tipus: Article

DOI: 10.1149/2.0261809JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor
Font de les dades: Scopus