Atomic layer deposition and properties of HFO 2 -Al 2 O 3 nanolaminates

  1. Kukli, K.
  2. Kemell, M.
  3. Castán, H.
  4. Dueñas, S.
  5. Seemen, H.
  6. Rähn, M.
  7. Link, J.
  8. Stern, R.
  9. Ritala, M.
  10. Leskelä, M.
Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Ano de publicación: 2018

Volume: 7

Número: 9

Páxinas: P501-P508

Tipo: Artigo

DOI: 10.1149/2.0261809JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso aberto editor
Fonte de datos: Scopus