Electrical characterization of atomic-layer-deposited hafnium silicate for alternative gate dielectric application
- Dueñas, S.
- Castán, H.
- García, H.
- Barbolla, J.
- Kukli, K.
- Ritala, M.
- Leskelä, M.
Actas:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings
ISBN: 9780780388109
Ano de publicación: 2005
Volume: 2005
Páxinas: 45-48
Tipo: Achega congreso