Progress in silicon-to-silicon direct bonding and its application to synchrotron x-ray optics
- Graber, T.
- Krasnicki, S.F.
- Fernandez, P.B.
- Mills, D.M.
- Tong, Q.-Y.
- Gösele, U.M.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
ISSN: 0277-786X
Any de publicació: 1997
Volum: 3151
Pàgines: 54-64
Tipus: Aportació congrés