Simulation of defects and diffusion phenomena in silicon
- Law, M.E.
- Gilmer, G.H.
- Jaraíz, M.
ISSN: 0883-7694
Datum der Publikation: 2000
Ausgabe: 25
Nummer: 6
Seiten: 45-50
Art: Artikel
Zeitschrift:
MRS Bulletin