Simulation of defects and diffusion phenomena in silicon

  1. Law, M.E.
  2. Gilmer, G.H.
  3. Jaraíz, M.
Aldizkaria:
MRS Bulletin

ISSN: 0883-7694

Argitalpen urtea: 2000

Alea: 25

Zenbakia: 6

Orrialdeak: 45-50

Mota: Artikulua

DOI: 10.1557/MRS2000.98 GOOGLE SCHOLAR