Defects from implantation in silicon by linked Marlow-molecular dynamics calculations

  1. Jaraiz, M.
  2. Gilmer, G.H.
  3. Stock, D.M.
  4. Diaz de la Rubia, T.
Zeitschrift:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 102

Nummer: 1-4

Seiten: 180-182

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0168-583X(95)80138-C GOOGLE SCHOLAR
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