SIMS characterization of the trichloride vapour phase epitaxial growth of III-V compounds

  1. Blanco, J.M.
  2. Lopez, M.
  3. Abril, E.J.
  4. Aguilar, M.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 1989

Alea: 39

Zenbakia: 7-8

Orrialdeak: 861

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0042-207X(89)90064-X GOOGLE SCHOLAR