Indium isoelectronic doping influence on etch pit density in gaas layers grown by vapour phase epitaxy

  1. Coronado, M.L.
  2. Abril, E.J.
  3. Aguilar, M.
Revista:
Japanese Journal of Applied Physics

ISSN: 1347-4065 0021-4922

Ano de publicación: 1986

Volume: 25

Número: 11 A

Páxinas: L899-L901

Tipo: Artigo

DOI: 10.1143/JJAP.25.L899 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable